VICF真空感应化学气相沉积炉

一、主要原理及用途

该炉是在真空或氩气保护条件下,利用中频感应方式加热石墨发热体,而石墨发热体对置于均温区的产品辐射及热传导加热。真空感应石墨化炉主要用于经过化学气相沉积和炭化之后的炭一炭复合材料在氩气的保护下进行高温石墨化处理,以改善和提高材料性能。

主要技术参数

最高温度

有效工作区
mm

热区温差

中频功率
Kw

中频频率
Hz

中频电压
V

极限压力
Pa

压升率
Pa/h

2900 Φ(170~650)
×(300~2000)
±15 100~500 2500~1000 250 6.6×10-1 2.5

二、主要结构及组成

该炉系列多为立式结构。按出料方式分为上出料和下出料两种形式。其中包括电炉本体、感应加热装置、进电系统、测温系统、真空系统、进出料系统、液压系统、充气系统、水冷系统、电气控制系统、中频电源等。

三、主要功能

使用远红外光学高温计测量,可手动程控。